河南净化工程产品（如硅片等）控制所接触大气的清洁度和温湿度，使产品在良好的环境空间内生产制造。这个空间的设计和建造过程可以称为净化工程。

河南净化工程分类

湍流空气从空调箱通过洁净室内的风道和空气过滤器（HEPA）进入洁净室，并由洁净室两侧的墙板或活动地板隔开。

回风。由于非线性运动，气流处于不规则湍流或涡流状态。这种类型适用于1000-100000级的洁净室。

优点：结构简单，系统建设成本低，无尘室易于扩建，在一些特殊用途的场所，可配合使用无尘工作台，提高无尘室的水平。

缺点：产生的粉尘颗粒不易在室内空间排出，容易污染工艺产品。此外，如果系统停止并重新启动，通常需要很长时间才能达到所需的清洁度。

层流气流移动成一条均匀的直线。空气通过覆盖率100%的过滤器进入室内，从高架地板或两侧的隔板返回。该机型适用于洁净室等级需要设置较高的环境，一般洁净室等级为Class1~100。它可以分为两种：

(1)水平层流：水平空气从过滤器向一个方向吹出，由对面墙的回风系统返回，粉尘随风向排出室外。一般来说，下游污染更严重。

河南净化工程优点：结构简单，运行后短时间内即可稳定。

(2)垂直层流：房间的天花板完全覆盖有ULPA过滤器，空气从上到下吹送，可以达到更高的洁净度。生产过程中或工作人员产生的粉尘可快速排到室外，不影响其他工作区域。

优点：易于管理，运行开始后短时间内即可达到稳定状态，不易受运行状态或操作者的影响。

缺点：施工成本高，空间灵活利用困难，吊顶占用空间大，过滤器维护更换麻烦。

复合型是湍流和层流的组合或组合，可提供局部超洁净空气。

（1）河南净化工程洁净隧道：采用HEPA或ULPA过滤器100%覆盖工艺区或工作区，将洁净度提高到10级以上，可节省安装和运行成本。这种类型需要将操作人员的工作区域与产品和机器维护隔离，以免在机器维护过程中影响工作和质量。大多数 ULSI 工艺都使用这种类型。

洁净隧道还有另外两个优点： A. 易于弹性扩展； B、维护设备时，可在维护区轻松进行。

（2）洁净管：河南净化工程对产品流经的自动化生产线进行包围净化，将洁净度提高到100级以上。由于产品、操作人员和发尘环境相互隔离，少量送风可以达到良好的清洁度，可以节省能源，不需要人工的自动化生产线是比较合适的。适用于制药、食品和半导体行业。

（3）河南净化工程与局部洁净室（Clean Spot）相结合：将洁净室等级为10000~100000级的湍流洁净室的产品工艺区洁净度等级提高到10~1000级以上供生产使用；洁净工作台、洁净工作棚和洁净罩属于这一类。