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青岛净化工程的温度和湿度主要根据您的加工工艺要求来决定。在满足加工工艺的条件下,应以人的舒适性为主要选择。随着青岛净化工程空气洁净度要求的提高,过程中对温度和湿度的要求越来越高,达到一定的温度和湿度等。例如,在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,要求作为掩膜材料的玻璃和硅片的热膨胀系数之差越来越小。对于直径为100um的硅片,温度上升1度,引起0.24um的线膨胀,所以有0.1度的恒温,同时要求湿度值低,因为人出汗后,会对产品造成污染,尤其是怕钠的半导体车间,这个车间不要超过25度。
青岛净化工程湿度过大会导致更多问题。当相对湿度超过55%时,冷却水管壁会发生冷凝。如果发生在精密器件或电路中,会引起各种事故。当相对湿度为50%时,容易生锈。
青岛净化工程中控制温湿度的具体措施是什么?
但是,对于大多数清洁空间,为了防止外部污染侵入,需要保持内部压力(静压)高于外部压力(静压)。压差的保持应符合以下原则:
1.高洁净度空间的压力高于相邻低洁净度空间的压力。
2.相通洁净室之间的门应该向低洁净度的房间敞开。
3.青岛净化工程洁净空间的压力高于不洁净空间。
压差的维持取决于新风量,新风量可以补偿在此压差下从缝隙中漏出的风量。因此,压差的物理意义是青岛净化工程中通过各种缝隙的泄漏(或渗透)气流的阻力。
对于青岛净化工程来说,空气稀释是减少室内污染的主要途径,因此主要采用通风频率的概念,而不是直接采用速度的概念。但是,室内气流速度也有以下要求;
1.送风口出口处的风速不应过高。与空调房间相比,要求速度衰减更快,扩散角更大。
2.空气流过水平面的速度(如侧线输送时的回流速度)不宜过高,以免吹爆表面颗粒,回到空气流中,造成二次污染。该速度不应为0.2m/s。
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